High Purity Silicon VI
High Purity Silicon VI

Author: Electrochemical Society. Meeting

Publisher: The Electrochemical Society

Published: 2000

Total Pages: 720

ISBN-13: 9781566772846

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"... papers that were presented at the Sixth Symposium on High Purity Silicon held in Phoenix, Arizona at the 198th Meeting of the Electrochemical Society, October 22-27, 2000."--Preface.

Defect Recognition and Image Processing in Semiconductors 1997
Defect Recognition and Image Processing in Semiconductors 1997

Author: J. Doneker

Publisher: Routledge

Published: 2017-11-22

Total Pages: 552

ISBN-13: 1351456466

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Defect Recognition and Image Processing in Semiconductors 1997 provides a valuable overview of current techniques used to assess, monitor, and characterize defects from the atomic scale to inhomogeneities in complete silicon wafers. This volume addresses advances in defect analyzing techniques and instrumentation and their application to substrates, epilayers, and devices. The book discusses the merits and limits of characterization techniques; standardization; correlations between defects and device performance, including degradation and failure analysis; and the adaptation and application of standard characterization techniques to new materials. It also examines the impressive advances made possible by the increase in the number of nanoscale scanning techniques now available. The book investigates defects in layers and devices, and examines the problems that have arisen in characterizing gallium nitride and silicon carbide.

Development, Manufacturing and Characterization of Stacked MESA Photodiodes
Development, Manufacturing and Characterization of Stacked MESA Photodiodes

Author: Fabian Florek

Publisher: Cuvillier Verlag

Published: 2016-09-13

Total Pages: 154

ISBN-13: 3736983514

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Diese Arbeit untersucht das Konzept von gestapelten Fotodioden basierend auf einem MESA Prozess. Eine Fotodiode mit einer vertikalen MESA Struktur ist eine neue Herangehensweise für die Detektion von farbigem Licht. Die Ergebnisse dieser Arbeit zeigen, dass ein Sensor zur Farbdetektion, basierend auf einer MESA Struktur, möglich ist. Durch chemische Gasphasenabscheidungen wird ein n-i-p-n-i-p Stapel gewachsen, der sehr dünne p-n Übergänge besitzt. Danach werden die unterschiedlichen p-i-n Dioden mit Hilfe eines neu entwickelten Ätzprozesses separat kontaktiert. Eine freistehende MESA Struktur wird dadurch erzeugt, dass alle überflüssigen Teile der Struktur durch einen hochselektiven RIE Ätzprozess entfernt werden. Diese neu geschaffene Struktur wird dann mit einer Passivierung und Metallkontakten versehen. Dadurch ist es möglich, sehr dünne und separat kontaktierte p-n Übergänge zu schaffen. Die hergestellten Prototypen wurden einzeln und gleichzeitig spektral vermessen um eine spektrale Antwort der Dioden zu erhalten. Diese spektrale Antwort wurde durch Simulationen sowie theoretische Berechnungen bestätigt.

ESD Design and Analysis Handbook
ESD Design and Analysis Handbook

Author: James E. Vinson

Publisher: Springer Science & Business Media

Published: 2012-12-06

Total Pages: 214

ISBN-13: 1461503213

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Electrostatic Discharge is a pervasive issue in the semiconductor industry affecting both manufacturers and users of semiconductors. This easy-to-read, practical handbook presents an overview of ESD as it effects electronic circuits and provides a concise introduction for students, engineers, circuit designers and failure analysts.